В этом году ЗАО «НТО» традиционно приняло участие в Международной выставке ExpoElectronica, которая состоялась 12−14 апреля 2022 г. в Москве, в МВЦ «Крокус Экспо». Предприятие впервые было номинировано на Премию ELECTRONICA, представив экспертному сообществу серию установок плазмохимического травления и осаждения STE ICP200, разработанную и серийно выпускаемую ЗАО «НТО» с 2014 года.

Установки серии STE ICP200 предназначены для реализации технологических процессов создания СВЧ ЭКБ на основе материалов A3B5, микро- и оптоэлектроники на подложках до 200 мм в следующих конфигурациях:

• STE ICP200EF/STE ICP200EC – установки плазмохимического травления полупроводниковых, диэлектрических и металлических слоев в комбинированной плазме емкостного и индуктивного разряда с использованием фторной/хлорной химии;
• STE ICP200D/STE PECVD200 – установки для проведения процессов плазмохимического осаждения диэлектриков (Si₃N₄, SiO₂ и т.п.) в комбинированной плазме емкостного и индуктивного разряда (ICP-PECVD)/классического PECVD.

В последние годы ЗАО «НТО» активно инвестировало в развитие данной линейки плазмохимического оборудования, в частности:

• В 2016 году проведена модернизация установок серии STE ICP200 – усовершенствована конфигурация, оптимизирована эргономика для удобства работы и обслуживания конечным пользователем.
• В 2019 году были разработаны новый емкостной электрод установки плазмохимического травления STE ICP200E, а также система интерферометрического контроля процессов травления и осаждения с целью снижения импортозависимости от зарубежных поставщиков.
• Силами технологов Прикладной лаборатории ЗАО «НТО» разработана обширная библиотека базовых технологических процессов, которая продолжает постоянно расширяться.

Профессиональное сообщество выставок ExpoElectronica и ElectronTechExpo, состоящее из непосредственных представителей радиоэлектронного рынка России, высоко оценило востребованность и технологическую конкурентоспособность серии установок STE ICP200, а также уровень локализации производства её ключевых узлов. По итогам онлайн-голосования ЗАО «НТО» стало победителем в категории «Базовые технологии и средства производства электроники».

Итоги Премии были подведены на церемонии награждения победителей 14 апреля в рамках выставок ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2022. Компаниям, которые за прошедший год внесли весомый вклад в свое направление отрасли и добились значимых результатов в своей деятельности, были вручены специальные награды.

Благодарим всех участников открытого голосования!

До встречи на выставке ExpoElectronica в 2023 году!