МАКСИМАЛЬНАЯ ЗАГРУЗКА   1×Ø3’’
КАМЕРА РОСТА   Предельный вакуум в ростовой камере <5∙10-11мм.рт.ст 10  портов для установки источников материалов  с заслонками, а также 4 порта для средств in-situ аналитики процесса без заслонок Расход жидкого азота при циклической работе менее 10-15л/ч*	ИСТОЧНИКИ   Вентильные источники As, Sb, P Газовый инжектор NH3 или CBr4 с возможностью нагрева Плазменный источник N2 Молекулярные источники с однозонным нагревом тигля Молекулярные источники Al, Ga, In и др. с двузонным нагревом тигля (конического или SUMO типа) Молекулярные источники легирующих компонентов Si, Be, Mg и др.
КАМЕРА ЗАГРУЗКИ   Ручная загрузка Накопитель держателей подложки на 3 позиции Перчаточный бокс инертной атмосферы, совмещённый с портом быстрой загрузки	РОСТОВОЙ МАНИПУЛЯТОР   Высокотемпературный нагреватель PBN/PG/PBN с высокой динамикой нагрева и охлаждения Нагрев подложки до 1200oC Вращение держателя подложки со скоростью до 1 об/с
КАМЕРА ПРЕДВАРИТЕЛЬНОЙ ПОДГОТОВКИ   Промежуточный накопитель держателей подложки на 6 позиций Высокотемпературный нагреватель PBN/PG/PBN с высокой динамикой нагрева и охлаждения Нагрев подложки до 800 oC Водяное охлаждение	ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА       Единая азотная криопанель Система откачки, сконфигурированная с учетом применения установки (криогенный, сублимационный, ионный, турбомолекулярный (в т.ч. коррозионно-стойкое исполнение), форвакуумный спиральный насосы) Вакуумметр Байярда-Альперта Датчик Пирани
СРЕДСТВА АНАЛИТИКИ   Система дифракции быстрых электронов (RHEED) с видеокамерой высокого разрешения Анализатор остаточной атмосферы Инфракрасный оптический пирометр Лазерный интерферометр Датчик потока Байярда-Альперта	СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ   Специализированное ПО Контроль параметров процесса в реальном времени Дистанционное управление перемещениями манипулятора Визуализация всех параметров управления и контроля в виде графиков

*при использовании фазового сепаратора в зависимости от количества работающих эффузионных источников, температуры подложки, а также режима работы и др. факторов