Установка плазмохимического осаждения диэлектриков в индуктивно-связанной плазме STE ICP200D

Главная Каталог продукции Установки для плазмохимической обработки

STE ICP200D Установка плазмохимического осаждения диэлектриков в индуктивно-связанной плазме

Установка STE ICP200D сконфигурирована на базе платформы STE ICP200 и предназначена как для интенсивных исследований и разработок (R&D), так и для серийного выпуска продукции в составе производственно-технологической линии.

В STE ICP200D реализованы современные особенности процессов контролируемого плазмохимического осаждения диэлектриков (SiN_x, SiO₂ и т.д.) в плазме индуктивного разряда.

Модернизированный реактор меньшего объема с оптимизированной системой газораспределения позволяет значительно улучшить однородность и воспроизводимость обработки пластин, а также сократить время предварительной откачки. Удобство проведения регламентных работ обеспечивается за счет облегчения доступа ко всем внутренним узлам установки.

7×Ø2"
4×Ø3"
1×Ø100мм
1×Ø150мм
1×Ø200мм

КАМЕРА-РЕАКТОР

Предельное остаточное давление в реакторе <5∙10^-6мм рт.ст.

Плоский источник индуктивно-связанной плазмы

Возможность подачи ВЧ или НЧ смещения

Мощность ВЧ или НЧ генератора емкостного электрода до 1000Вт (2000Вт*)

Мощность генератора ICP верхнего электрода (13,56 МГц) до 1000Вт (3000Вт*)

Нагрев стола до 450°C

Нагрев стенок реактора

ГАЗОРАСПРЕДЕЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА

6 (12*) газовых линий в коррозионно-стойком исполнении, в т.ч. с байпасами

Отсечной вакуумный клапан

ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА

Система откачки, сконфигурированная с учетом применения установки (турбомолекулярный, форвакуумный спиральный насосы)

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ

Автоматизация технологического процесса с периодической попеременной подачей газов

Автоматизированная очистка камеры

Программирование и сохранение технологических рецептов

*опция

Неоднородность травления и осаждения ±2% на пластинах Ø100мм
Оптимизированная система газораспределения
Проведение технологического процесса по рецепту
Инсталляция «через стену» чистого помещения
Автоматизированная закрузка пластин
Возможность кассетной загрузки*

__________________________________

*опция