Установки магнетронного и терморезистивного напыления предназначены для осаждения широкого спектра многокомпонентных покрытий, в т.ч.:

• металлов Cu, Cr, Ni, Ag, Al, Ti, W, V, Ta и др.;
• резистивных сплавов РС-3710, NiCr и др.;
• диэлектриков SiO₂, SiNx, TiN, LiNbO₃, Ta₂O₃ и др.;
• пленок ITO и др.

Гибкая конфигурация и возможность импользования различных источников напыления обеспечивает решение широкого спектра исследовательских и производственных задач.