language

Установки физического осаждения

Установки физического осаждения АО «НТО» позволяют:

  • получать тонкие пленки металлов, диэлектриков и полупроводниковых материалов в высоком и сверхвысоком вакууме методом электронно-лучевого напыления; 

  • осаждать широкий спектр многокомпонентных покрытий металлов, резистивных сплавов, диэлектриков и пленок ITO методами магнетронного и терморезистивного распыления.  

Гибкая конфигурация выпускаемого оборудования и возможность использования различных источников напыления обеспечивает решение широкого спектра исследовательских и производственных задач пользователей. Широкая библиотека стандартных технологических рецептов позволяет быстро начать как опытное производство, так и серийный выпуск приборов с заданными характеристиками.