language

Нанолаборатория

Комплексно оснащенная, компактная «Нанолаборатория», предназначенная для создания широкого класса полупроводниковых приборов 1.

1 На рисунке представлен вариант планировки технологической зоны

Полный набор технологического оборудования Нанолаборатории включает:

  • компактную установку молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE STE75) в двух вариантах исполнения:для материалов А 3 В 52 В 6 и A 3 N;
  • установку физического осаждения с электронно-лучевым источником (PVD);
  • установку физического осаждения с магнетронным источником, снабженную шлюзом (PVD);
  • установки плазмохимического травления и нанесения с индуктивным и емкостным согласованнымиисточниками плазмы (PE, PECVD);
  • установку длительной температурной обработки (RTA, RTP)
  • комплект необходимого контрольно-измерительного оборудования, оборудования для химии и фотолитографии
  • документированные базовые технологические процессы
  • расширенную современную программу обучения, включающую видеообучение, 3D-визуализацию технологического маршрута изготовления выделенныхнаноприборов, а также специализированные тренажёрные программы.

  • В состав оборудования входит универсальная научная и производственная техника, наилучшим образом предназначенная для проведения лабораторных исследований и производственных работ в сфере нанотехнологий
  • Полнота состава технологической линии, обеспечивает замкнутый цикл изготовления выбранного полупроводникового наноприбора
  • Снабжение технологической документацией на техпроцессы
  • Обеспечение постановки инновационного обучающего процесса на основе специальных обучающих программ
  • Долгосрочная и своевременная техническая и технологическая поддержка

  • Оборудование сориентировано на исследовательскую работу на подложках диаметром не менее 50,8 мм, при этом предусмотрена модернизация узлов оборудования с возможностью увеличения максимального диаметра подложки до 100 мм;
  • Установки унифицированы по типу держателей подложки;
  • Минимизированы эксплуатационные  расходы для всех единиц оборудования;
  • Технологические реакторы установок оснащены смотровыми окнами для максимальной визуализации  работы оборудования;
  • Графический интерфейс системы управления технологическим процессом выстроен с целью упрощения процесса последовательного обучения специалистов выполнению различных технологических операций.